東元伺服100W200W電機(jī)分別在LED固晶機(jī)上的應(yīng)用

  隨著IT產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，集成電路市場呈現(xiàn)穩(wěn)定增長趨勢。一方面，固晶機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備在市場上需求越來越大，另一方面，LED產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展對LED生產(chǎn)設(shè)備的要求也越來越高，與此同時(shí)，IPC技術(shù)的快速發(fā)展為滿足以上需求提供了保證。

  LED固晶機(jī)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)主要包括運(yùn)動控制模塊、氣動部分、機(jī)器視覺部分和由伺服電機(jī)構(gòu)成的運(yùn)動執(zhí)行機(jī)構(gòu)，在這里注明伺服電機(jī)是東元伺服電機(jī)。

  固晶機(jī)上總共采用4套200W東元伺服（JSDA-15A搭配JSMA-SC02ABK）和2套100W東元伺服(JSMA-15A搭配JSMA-SC01ABK)，分別控制X,Y軸傳動機(jī)構(gòu)以及鍵合臂取晶動作。其中要求高的為控制鍵合臂的100W東元伺服。

  100W東元伺服電機(jī)通過同步帶帶動連桿快速正反轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)裝有吸晶咀的鍵合臂做逆時(shí)針和順時(shí)針方向位移，逆時(shí)針到位后吸晶咀吸取晶元然后順時(shí)針固定晶圓。此動作要求：1.快速定位時(shí)，馬達(dá)要平穩(wěn)，不能抖動，否則吸晶和固晶的位置會不準(zhǔn)確；2.客戶要求每個(gè)動作周期盡量的快，由此對伺服的響應(yīng)有較高要求。

  通過伺服增益參數(shù)的調(diào)整，終可以實(shí)現(xiàn)鍵合臂伺服在3msec內(nèi)完成整定，整個(gè)固晶周期為245msec/顆，獲得客戶的認(rèn)可。

  固晶機(jī)作為一個(gè)新興行業(yè)應(yīng)用的代表，有著較高的技術(shù)門檻。東元伺服在固晶機(jī)的成功應(yīng)用，則充分彰顯了東元伺服的優(yōu)良性能。